EVG, 피엠티에 리소스케일 마스크리스 리소그래피 시스템 공급 계약

EVG, 피엠티에 마스크리스 노광 시스템 공급

EVG는 24일, 세계적인 반도체 웨이퍼 프로브 카드 기업인 한국의 피엠티로부터 자사의 리소스케일(LITHOSCALE) 마스크리스 노광 시스템에 대한 공급 계약을 수주했다고 밝혔다.

이번 계약으로, EVG의 리소스케일 시스템은 피엠티 본사가 있는 충남 아산에 설치되어 첨단 NAND, DRAM, 고대역폭 메모리(HBM) 디바이스의 웨이퍼 레벨 테스트용 차세대 MEMS 기반 프로브 카드 제조에 사용될 예정이다.

피엠티는 기존의 마스크 얼라이너를 이용한 리소그래피 공정을 EVG의 리소스케일로 대체함으로써, 제조 비용 절감, 공정 개발 속도 단축, 프로세스 성능 향상을 기대하고 있다.

EVG의 리소스케일은 마스크를 사용하지 않는 노광 기술로, 높은 초점 심도와 고분해능을 제공한다. 이를 통해 미세 피치 프로브 카드의 핵심 기술인 고밀도 재배선 레이어(RDL)와 비아(Via) 연결이 가능하다.

EVG 윤영식 한국지사장은 '프로브 카드를 사용하는 웨이퍼 레벨 테스트는 디바이스 생산 수율을 높이고 다이당 전반적인 테스트 비용을 낮추기 위해서 필수적인 공정이다. 리소스케일은 미세 피치 웨이퍼 프로브 카드 제조용으로 매우 이상적'이라고 전했다.

요약

■ EVG, 피엠티에 마스크리스 노광 시스템 공급
■ 충남 아산에 설치, 첨단 메모리 웨이퍼 프로브 카드 제조에 사용
■ 기존 방식 대비 제조 비용 절감, 공정 개발 속도 단축, 프로세스 성능 향상 기대
■ 마스크리스 노광 기술로 고밀도 재배선 레이어와 비아 연결 가능
■ 프로브 카드 제조용으로 이상적

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